美国商业新闻2005年4月4日法国SAINT-JEOIRE消息——合作伙伴SUSS MicroTec和VTT Microelectronics公司宣布他们的新成果：第一个能在步进和重复模式下把热压印和冷压印集合到一个晶圆上的纳米压印微影系统问世。

　　NPS300是一种非常灵活的工具，它既适用于手工装载机器，又适用于全自动的系统。后者结构包括全自动晶片处理，尺寸可到300毫米，还有自动的模版处理能力，不同的模版可以在同一个晶片上印刷。对微小或纳米设备复制实现了高性价比的最优化，SUSS 的NPS300成功的实现了在20纳米以下进行热压印和冷压印(UV-NIL)应用的压印解决方案。如果配置自动校准暴光仪，NPS300能实现250纳米的覆盖准确率，尺寸为100毫米，厚度为6.5纳米的印花。

　　SUSS的NPS300产品战略经理Gilbert Lecarpentier解释道：“NPS300能提供不同的压印技术，它是能印刷小于20纳米的几何图型的一个成本节约型的高频电子束微影。位于芬兰的 VTT微电子中心已经演示过热压印的步进式转印这一创造性的方法。这一方法包括通过控制热量和压力把压印图案转变成热塑性压花。用这些原料和UV硬化，冷压印应用也可以用到步进和硬化方法中。”

　　NPS300应用图案或模版，而不是光学微影，能复制最微小的图案。应用程式包括完整的光学设备（二极管、光栅、光折射聚合体、后侧照明设备等），微电子的微小物质（传感器、共明器、传换器），温度感应器、光、分子、生命科学、也有三维空间复制。

　　除了纳米转印步进机，SUSS公司另外还供应用于晶片冷压印的双面光罩标准暴光仪，这种技术的运用，使热压印刷能通过用温度和压力为控制参数，使用紫外线光，进行感光结合而硬化。

　　我们将在4月12日到4月14日在欧洲半导体展会上100号展台展示NPS300。

　　关于VTT公司

　　VTT芬兰技术研法中心是一个研究组织，在欧洲和其他的国家都有研发机构，有2800个员工。VTT为客户，私人企业，机构和公共部门，提供技术和研发服务。VTT同时通过创造公众研发知识和积极参与国内外在电子、信息科技、生物科技、纳米科技等领域的科技转化。年产值为2.1亿欧元。VTT每年服务 5000多个客户。

　　关于SUSS MicroTec

　　SUSS MicroTec公司是为半导体工业提供产品、程式和测试技术的领先供应商。SUSS以全球7000多项系统安装来维持他的主导地位。SUSS产品包括涂层发展系统、1X微缩系统(1XFFL) ，感光结合，设备/晶片焊接器和跟踪系统。总部在德国慕尼黑，SUSS全球共有880名员工，在北美，欧洲，亚洲和日本提供销售和服务。SUSS MicroTec AG是一家在德国证券交易所的上市公司。

　　此新闻中的发布不是历史事实，属于根据1995年美国私人证券交易改革法所界定的前瞻性声明。诸如“相信”、“期望”、“预期”、“估计”、“也许”、 “可能”、“将要”、“计划”等相关措辞只是表示一种预测。公司对向大众公布的这种预测不承担更新或更改的责任。所有的预测将会有风险和不确定因素，也许事实会与预测有很大不同。这些预测只是反映当时的一种观点。