GT40A模型已利用平板印刷工具测试认证
2005-05-09 00:00:00.0 来源:中国激光网 责编:中华印刷包装网
半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司,宣布了一种新的氟化氩(ArF)准分子激光器――GT40A(发射波长193nm,重复率为4kHz)。这个新模型已经利用平板印刷工具在荷兰Veldhoven的ASML被综合测试和认证。
在如今的先进平板印刷方法中,随着LSI电路模型的优化,浸入式ArF平板印刷术已经成为主流,将成为最有保证的下一代技术。作为浸入式ArF平板印刷术的光源――ArF激光器来说,高的产量水平和稳定的光谱性能是最基本的要求。
在如今的先进平板印刷方法中,随着LSI电路模型的优化,浸入式ArF平板印刷术已经成为主流,将成为最有保证的下一代技术。作为浸入式ArF平板印刷术的光源――ArF激光器来说,高的产量水平和稳定的光谱性能是最基本的要求。
GT40A在Gigaphoton的日本总部进行的性能测试表明,它具有稳定的高性能,低的运行成本,而且有着前所未有的可靠性和长的可用时间――所有这些特点足以满足大量生产的平板印刷程序的需求。
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